超高分辨冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
儀器名稱:超高分辨冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡
品牌: 日立
型號:SU9000II
產(chǎn)地:日本
儀器介紹:
一.儀器特點:
1. 內透鏡物鏡設計,像差小,可實現(xiàn)超高倍觀察(SE分辨率:0.4nm@30kV),低電壓成像能力優(yōu)異(SE分辨率:1nm@1kV);
2. 全場的冷場發(fā)射電子槍,具有Mild Flash技術;
3. 采用樣品桿進樣,快速更換樣品,高效穩(wěn)定;
4. STEM和EDS性能優(yōu)異,也可選配電子衍射和EELS。
二.主要用途:
兼具了掃描電鏡和部分透射電鏡的功能,主要應用在半導體、納米材料、催化劑等領域。